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真空計的校準
如今，真空在我們日常生活中被廣泛應用于產(chǎn)品的生產(chǎn)及制造，并且扮演著(zhù)重要角色。例如：在科研，工業(yè)流程，手機芯片，硬盤(pán)，太陽(yáng)能電池，塑料干燥或者食品真空包裝等領(lǐng)域。在當今的生產(chǎn)活動(dòng)中，我們對真空度測量的性、標準化、可靠性和重復性的要求是至關(guān)重要的。當我們在進(jìn)行測量的時(shí)候，高精度又是關(guān)鍵中的關(guān)鍵：
精度的高低會(huì )直接影響產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量，科學(xué)實(shí)驗的準確性和設備使用的可靠性。要確保真空計使用時(shí)的高可靠性，就必須經(jīng)常對它進(jìn)行校準或標定。而根據每個(gè)不同應用的具體要求，這些校準工作必須符合國內或相關(guān)的。經(jīng)濟、有效果的國際化的機構校準及標定替代解決方案；生產(chǎn)活動(dòng)中，真空計往往需要對外機構進(jìn)行校準和標定。
然而在對量大或校準間隔要求短的條件下，使用經(jīng)濟的測量?jì)x器進(jìn)行現場(chǎng)校準能大大節約時(shí)間和費用。inficon真空緊湊型的校準泵組就能夠組建起這樣一個(gè)系統。譜拓（）認為這個(gè)易于使用的便攜式系統是專(zhuān)為同時(shí)在線(xiàn)進(jìn)行多個(gè)儀器檢測而量身定做的。其系統具有使用便捷、快速及符合人體工學(xué)標準的特點(diǎn)。
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如果用I20R表示一定量的固體熱傳導和熱輻射，則式(4-6)可以表示為I0是燈絲的電流，不斷彌補固體熱傳導和熱輻射而帶來(lái)的熱量損失。A是不依存壓強的常數。如果已知燈絲的電阻R、電流I0及常數A，則可以通過(guò)式(4-10)求得壓強p。熱電偶真空計的壓強測量范圍在0.1～300Pa，具有以下優(yōu)點(diǎn)：(1)結構簡(jiǎn)單、容易制造、容易操作；
工作溫度、工作電壓較低；(3)所測讀數為全壓強，并且能夠實(shí)現遠距離的連續測量。但是，熱電偶真空計具有受溫度影響大、讀數時(shí)間滯后、讀數因氣體種類(lèi)而異、讀數需要校準等缺點(diǎn)。熱偶真空計工作特性 熱偶真空計是相對真空計，其壓力-熱偶電勢對應值難以用計算方法準確求得，因此，常常在標準環(huán)境條件下，用真空計或用校準系統經(jīng)校準確定。
在一定的加熱電流條件下，配用DL-3型規管的熱偶真空計對干燥空氣的校準曲線(xiàn)如圖4-9和圖4-10所示。圖4-9DL-3型熱偶真空計的校準曲線(xiàn)(10～10-1Pa)圖4-10DL-3型熱偶真空計的校準曲線(xiàn)(102～10Pa)由圖4-10不難看出，當壓力從0.1MPa開(kāi)始逐步降低(圖中未畫(huà)出)的一段壓力范圍內，熱偶電勢E一直在零值附近，其原因是氣體分子多，傳導走的熱量多，因而熱絲溫度低，熱偶電勢E亦低，而且此時(shí)(λ≤r1)熱傳導與壓力無(wú)關(guān)，故熱偶電勢E不變化(少量變化是氣體對流引起的)。
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氣體類(lèi)型對熱偶真空計的危害熱偶真空計對不一樣氣體的測定結果是不一樣的，這也是因為不一樣氣體分子結構的傳熱系數不一樣引發(fā)的。但各種各樣氣體的p-E校準曲線(xiàn)樣子都相似，因而，在準確測量不一樣氣體的負擔時(shí)，可依據干躁氣體(或氫氣)標尺的工作壓力讀值，再乘于相對應的被測氣體相對度，就可獲得該氣體的真實(shí)工作壓力，
即通常以干躁氣體(或氫氣)的相對度為1，別的一些較常用的氣體和水蒸氣的相對度如表4-2所顯示。相對度說(shuō)明了氣體導熱的特性。從表得知，針對氣體分子結構中具備同樣原子數的氣體或蒸汽，其相對度Sr隨相對分子質(zhì)量的增加而擴大。表4-2一些氣體與蒸汽的相對度
熱偶規管加溫電流量的明確因為生產(chǎn)制造熱偶規管常用的原料及加工工藝等緣故，每一個(gè)規管的加溫電流量均不同樣；在應用歷程中也會(huì )因為規管“衰老”促使加溫電流量增大；除此之外，不一樣檢測范圍的加溫電流量也是有差別。因而，在應用熱偶記時(shí)，應按不一樣的測量范圍明確規管的加溫電流量。
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